Almatec Baureihe FUTUR Druckluft-Membranpumpen für die Halbleiterindustrie

Seit 1984 baut ALMATEC Spezialpumpen für Chemikalienversorgung und Badumwälzung in der Halbleiterindustrie. Die Pumpenbaureihe FUTUR wurde speziell für die besonderen Anforderungen dieses Bereiches entwickelt, insbesondere durch die Innendurchströmung des Fördermediums.

Alle Pumpen der Baureihe FUTUR sind trockenlaufsichere und selbstansaugende Druckluft-Membranpumpen. Sie weisen einen kompakten, einfachen Aufbau mit nur wenigen Teilen auf. Die Massivbauweise der Gehäuseteile sorgt für eine lange Lebensdauer. Reinigung, Montage und Endprüfung der FUTUR Pumpen erfolgt in einer Reinraumlinie. Für alle Baugrößen und Werkstoffvarianten stehen entsprechende Pulsationsdämpfer zur Verfügung.

Die Werkstoffvarianten für die unterschiedlichen Einsatzfälle in der Halbleiterindustrie:

  • Vier Baugrößen in PTFE/UPPE für Säuren und Laugen bis 130°C (Typ FUTUR T)
  • Zwei Baugrößen in PTFE für Heißanwendungen von Säuren und Laugen bis 200°C (Typ FUTUR H)
  • Zwei Baugrößen in PE für Poliermittel (Typ FUTUR E)
  • Zwei Baugrößen in Edelstahl für Lösemittel (Typ FUTUR S und SH)

Die Merkmale im Überblick

  • Vier Werkstoffvarianten (T, H, E, S/SH) für die unterschiedlichen Anwendungsbereiche
  • Absolute Metallfreiheit der Kunststoffausführungen
  • Temperaturbereich bis 200 °C (H)
  • Patentierte, berührungslose Kaskadendichtung zwischen den Produktkammern
  • Keine produktberührten O-Ring-Dichtungen
  • Innendurchströmung des Fördermediums mit nur einem produktberührten Gehäuseteil
  • Schmierungs- und wartungsfreies Luftsteuersystem PERSWING P®
  • Interne Luftführung
  • Membranen ohne Teller und Dichtungen, mit optimierter Membrangeometrie
  • Flächendichtende Zylinderventile
  • Leichte Demontage und Montage
  • Keine Befestigungselemente wie Zuganker, Muttern oder Spannbänder
  • Separater Pulsationsdämpfer für alle Werkstoffvarianten und Baugrößen
  • Einfache Nachrüstung eines Membran- und/oder Hubzählsensors
  • Geringer Geräuschpegel

Werkstoffe

BAUTEIL WERKSTOFFE
Produktberührtes Zentralgehäuse PTFE, PE, 1.4404 (abhängig vom Pumpentyp)
Nicht produktberührte Seitengehäuse PTFE, PE, PE-leitfähig, 1.4301 (abhängig vom Pumpentyp)
Membranen PTFE
Zylinderventile PTFE, PE (abhängig vom Pumpentyp)

Technische Daten

Pumpengröße Maße
10 20 50 100
Maße für Pumpe (mm)
Länge 185 201 246 303
Breite 114 150 200 260
Höhe 131 168 216 266
Maße für Pumpe mit Dämpfer (mm)
Länge 185 201 246 303
Breite 136 161 215 286
Höhe 246 283 348 429
Anschluss-Nennweite (NPT) 3/8" 1/2" 1" 1 1/4"
Luftanschluss (NPT) 1/4" 1/4" 1/4" 1/4"
Saughöhe, trocken (mWS) 1 2,5 3,5 4
Saughöhe, produktgefüllt (mWS) 8 9 9 9
Max. zulässiger Antriebsdruck (bar) 6 6 6 6
Max. Fördermenge l/min 10 20 50 100

Technische Daten der FUTUR Edelstahlpumpen auf Anfrage.

Maximal zulässige Temperatur in °C

Werkstoffvariante FUTUR H FUTUR T FUTUR E
bei max. 6 bar
100°
100°
70°
bei max. 5 bar
130°
110°
70°
bei max. 4 bar
150°
120°
70°
bei max. 3 bar
180°
130°
70°
bei max. 2 bar
200°
130°
70°

Leistungsbereiche

Futur10(DE)
Futur20(DE)
Futur50(DE)
Futur100(DE)

Downloads

Bedienungsanleitung